半導体関連事業

SC半導体関連事業としては、ガス供給(高純度配管、シリンダーキャビネット)から排気(排ガス処理装置)に至るまで、安全・環境・メンテナンス性を考慮した環境低付加ツールの開発・設計・製作をしています。

完全受注製作ですので、常にお客様のご要望に沿った設計を行っております。
短期納入に付きましても、ご相談ください。


 

配管製作

 

ブロワ―設備

 

●取扱い商品

1.ガス供給設備の設計・製作
2.排ガス処理装置の設計・製作
3.電気制御盤の設計製作
4.パーツ供給
5.CAD設計
6.納入設備のアフターサービス


●仕様

〈キャビネット〉
  ・材料:鋼板製
  ・設置場所:屋内・屋外
〈配管〉
  ・材質:ステンレス鋼管
  ・接続:フランジ継手・食込み継手・クイック(NW)継手
〈電気盤〉
  ・材質:鋼板製
  ・設置場所:屋内・屋外
  ・制御タイプ:シーケンサ・マイコンタイプ


●納入先(取扱品目)

・排ガス処理装置:半導体製造メーカー・研究所・大学
  (取扱品目:半導体製造用特殊材料ガス(有毒ガス)/SiH4、NH3)
・シリンダーキャビネット:半導体装置メーカー・研究所・大学・病院・鉄鋼所
  (取扱品目:一般工業用ガス/O2、N2、Ar、CO2)


●お問合せ先は…